Proizvodi
Poluprovodničke vakuumske pumpe

Poluprovodničke vakuumske pumpe

Srce proizvodnje čistih prostorija, poluvodičke vakuum pumpe su precizno-projektovane da zadovolje izuzetno stroge zahtjeve proizvodnje mikroelektronike. Ove pumpe su dizajnirane da isporuče savršeno čisto, stabilno i{2}}okruženje bez vibracija, što je apsolutno kritično za procese u kojima čak i mikroskopska kontaminacija može dovesti do katastrofalnog kvara proizvoda. proizvodi univerzalno koriste dizajn{{4}bez ulja i{5}}otpornih na koroziju, često koristeći specijalizovane materijale koji mogu izdržati agresivne procesne plinove.

Opis proizvoda

 

Srce proizvodnje čistih soba,Poluprovodničke vakuumske pumpesu precizno-projektovane da zadovolje izuzetno stroge zahtjeve proizvodnje mikroelektronike. Ove pumpe su dizajnirane da isporuče savršeno čisto, stabilno i{2}}okruženje bez vibracija, što je apsolutno kritično za procese u kojima čak i mikroskopska kontaminacija može dovesti do katastrofalnog kvara proizvoda.proizvoduniverzalno koriste dizajn{{0}bez ulja i{1}}otpornih na koroziju, često koristeći specijalizovane materijale koji mogu izdržati agresivne procesne plinove. Oni postižu potrebne visoke nivoe vakuuma, obično do 0,001 Pascal, sa podesivim brzinama protoka i projektovani su da pokazuju izuzetno niske profile vibracija kako bi se sprečila oštećenja delikatnih nanostruktura.

 

Njihova modularna filozofija dizajna omogućava jednostavnu integraciju u složene setove alata i olakšava lakše servisiranje, što je ključno za minimiziranje skupog vremena zastoja alata. Primarna primjena odPoluprovodničke vakuumske pumpeje, kao što naziv implicira, u industriji poluprovodnika, gdje se koriste u gotovo svakom koraku proizvodnje čipova, od jetkanja i taloženja do jonske implantacije i litografije. Oni su takođe od vitalnog značaja u srodnim oblastima kao što su elektronsko pakovanje i proizvodnja fotonaponskih ćelija. Osim elektronike, ove pumpe se koriste u mašinama za gumu i plastiku za obradu materijala visoke -čistoće poluvodiča-. U pakovanju hrane, oni pomažu u razvoju specijalizovanog pakovanja za osetljive elektronske komponente. Unutar namjenskih sistema vakuumskog premaza,proizvodsu od suštinskog značaja za izvođenje procesa nanošenja premaza na nivou poluprovodnika-koji zahtijevaju vrhunsku čistoću i pouzdanost. Kada uspjeh vašeg procesa ovisi o besprijekornom i nepokolebljivom vakuumu,Poluprovodničke vakuumske pumpesu definitivno i pouzdano rješenje.

 

Osnovni parametri

typeNumber

DLT.LG180

DLT.LG360

DLT.LG630

DLT.LG800

DLT.LG1100

Brzina pumpanja, m3/h

143

354

625

780

994

Krajnji pritisak, Pa

2

2

1

1

1

Brzina rotacije, o/min

2900

2900

2900

2900

2900

Buka Lp, dB(A)

82

83

83

84

85

Maksimalna potrošnja vode, L/min

8

15

25

35

45

Prečnik ulaza, mm

50

50

65

100

100

Prečnik ispušnog otvora, mm

40

40

50

80

80

Snaga motora, kW

4

7.5

15

18.5

22

Težina glave pumpe, kg

245

350

550

630

780

Popularni tagovi: poluvodičke vakuum pumpe, Kina poluvodičke vakuum pumpe proizvođači, dobavljači, tvornica

Pošaljite upit