Opis proizvoda
Srce proizvodnje čistih soba,Poluprovodničke vakuumske pumpesu precizno-projektovane da zadovolje izuzetno stroge zahtjeve proizvodnje mikroelektronike. Ove pumpe su dizajnirane da isporuče savršeno čisto, stabilno i{2}}okruženje bez vibracija, što je apsolutno kritično za procese u kojima čak i mikroskopska kontaminacija može dovesti do katastrofalnog kvara proizvoda.proizvoduniverzalno koriste dizajn{{0}bez ulja i{1}}otpornih na koroziju, često koristeći specijalizovane materijale koji mogu izdržati agresivne procesne plinove. Oni postižu potrebne visoke nivoe vakuuma, obično do 0,001 Pascal, sa podesivim brzinama protoka i projektovani su da pokazuju izuzetno niske profile vibracija kako bi se sprečila oštećenja delikatnih nanostruktura.
Njihova modularna filozofija dizajna omogućava jednostavnu integraciju u složene setove alata i olakšava lakše servisiranje, što je ključno za minimiziranje skupog vremena zastoja alata. Primarna primjena odPoluprovodničke vakuumske pumpeje, kao što naziv implicira, u industriji poluprovodnika, gdje se koriste u gotovo svakom koraku proizvodnje čipova, od jetkanja i taloženja do jonske implantacije i litografije. Oni su takođe od vitalnog značaja u srodnim oblastima kao što su elektronsko pakovanje i proizvodnja fotonaponskih ćelija. Osim elektronike, ove pumpe se koriste u mašinama za gumu i plastiku za obradu materijala visoke -čistoće poluvodiča-. U pakovanju hrane, oni pomažu u razvoju specijalizovanog pakovanja za osetljive elektronske komponente. Unutar namjenskih sistema vakuumskog premaza,proizvodsu od suštinskog značaja za izvođenje procesa nanošenja premaza na nivou poluprovodnika-koji zahtijevaju vrhunsku čistoću i pouzdanost. Kada uspjeh vašeg procesa ovisi o besprijekornom i nepokolebljivom vakuumu,Poluprovodničke vakuumske pumpesu definitivno i pouzdano rješenje.
|
Osnovni parametri |
typeNumber |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Brzina pumpanja, m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Krajnji pritisak, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Brzina rotacije, o/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Buka Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Maksimalna potrošnja vode, L/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Prečnik ulaza, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Prečnik ispušnog otvora, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Snaga motora, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Težina glave pumpe, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Popularni tagovi: poluvodičke vakuum pumpe, Kina poluvodičke vakuum pumpe proizvođači, dobavljači, tvornica
