U modernoj opremi za vakuumsko nanošenje premaza, faza grube obrade je kritična osnova za postizanje stabilnih performansi visokog{0}}vakuma. Široko korištena konfiguracija je DLT.2V80 dvostepena rotirajuća lopatična pumpa u kombinaciji sa Roots pumpom. Ovo uparivanje formira efikasnu pred-vakumsku jedinicu sposobnu da brzo smanji pritisak u komori sa atmosferskog nivoa na niski-oblast vakuuma, stvarajući neophodne uslove za kasniju fazu visoko-vakuumskog pumpanja. Razumijevanje ispravnog procesa rada i tehničke logike ovog sistema je od suštinskog značaja za održavanje kvaliteta premaza, zaštitu opreme i produženje vijeka trajanja pumpe.
Sistem grube obrade radi na principu stepenastog pumpanja. Dvostepena-pumpa s rotirajućim lopaticama djeluje kao pomoćna pumpa, dok Roots pumpa osigurava visoku brzinu pumpanja u srednjem{2}}do-niskom vakuumskom opsegu. Tokom pokretanja-pumpa s lopaticama prvo smanjuje pritisak u komori. Kada pritisak dostigne dozvoljeni početni pritisak Roots pumpe, Roots pumpa počinje sa radom, uveliko ubrzavajući uklanjanje gasa. Ovo koordinirano pumpanje omogućava komori da brzo pređe sa atmosferskog pritiska na niski{8}}oblast vakuuma koja je potrebna prije nego što se uključe visoko-vakumske pumpe (kao što su difuzijske ili turbomolekularne pumpe).
Ključni zahtjevi procesa se javljaju nakon što je faza grubog pumpanja završena. Prije prelaska na visoki vakuum ili ulaska u fazu zadržavanja vakuuma, cjevovod za grubu obradu mora biti evakuisan i pritisak{1}}izbalansiran. Ovaj korak se često zanemaruje, ali je od vitalnog značaja za sprečavanje povratnog toka vakuuma. Ako razlike u pritisku ostanu između linije za grubu obradu i komore, vakuumsko ulje iz rotacione pumpe može migrirati nazad u šupljinu Roots pumpe, cjevovode ili čak u komoru za premazivanje. Kontaminacija uljem može ozbiljno oštetiti kvalitetu tankog filma, blokirati kanale za plin i povećati troškove održavanja.
Pravilna radna procedura počinje odmah nakon što komora dostigne željeni grubi nivo vakuuma. Najprije treba zatvoriti glavni ventil za grubu obradu koji povezuje komoru sa linijom za grubu obradu. Ovo izoluje komoru od sistema pomoćne pumpe i sprečava nekontrolisane fluktuacije pritiska. Zatim se suvi azot ili čisti, suvi komprimovani vazduh mora uvesti u cevovod za grubu obradu radi kontrolisanog procesa odzračivanja pod mikro{3}}pritiskom. Ovaj korak polako izjednačava pritisak unutar cevovoda na nivo blizu atmosfere bez unošenja vlage ili zagađivača.
Suvi dušik je poželjniji jer je inertan i ne sadrži vodenu paru ili kisik, a oba mogu degradirati vakuumsko ulje i kontaminirati unutrašnje komponente pumpe. Ako dušik nije dostupan, može se koristiti filtrirani i osušeni komprimirani zrak, pod uslovom da su ugrađeni sifoni za ulje i vlagu. Cilj ovog koraka nije potpuno odzračivanje komore, već stabilizacija pritiska unutar cjevovoda za grubu obradu. Tek kada se pritisak u cjevovodu vrati na siguran nivo, sistem treba da pređe u režim zadržavanja vakuuma ili da se isključi.
Važnost ovog procesa obnavljanja tlaka u cjevovodu proteže se dalje od čistoće. Takođe štiti mehanički integritet pumpnog sistema. Rotacione pumpe se oslanjaju na vakuumsko ulje za zaptivanje, podmazivanje i hlađenje. Iznenadne razlike tlaka mogu uzrokovati migraciju ulja, stvaranje pjene ili povratni tok. Roots pumpe, koje rade bez unutrašnjeg podmazivanja u komori za kompresiju, posebno su podložne kontaminaciji od ulja pomoćne pumpe. Stabilizacijom pritiska prije izolacije, operateri smanjuju habanje, sprječavaju zaglavljivanje pumpe i minimiziraju učestalost održavanja.
U poređenju sa sistemima za grubu obradu sa jednom{0}}pumpom, kombinacija rotacione lopatice i Roots pumpe nudi veću brzinu pumpanja, kraće vrijeme{1}}zastoja pumpe i poboljšanu stabilnost u ciklusima industrijskog premaza. Međutim, ove veće performanse zahtijevaju i strožu operativnu disciplinu. Odzračivanje cjevovoda, sekvenciranje ventila i zaštita od suhog plina nisu izborni koraci; sastavni su dijelovi dizajna procesa.
Iz perspektive industrije, kontrola kontaminacije postaje sve važnija kako tehnologije premaza napreduju prema većoj preciznosti i tanjim filmovima. Čak i pare ulja u tragovima mogu uticati na adheziju, optičke performanse ili električna svojstva nanesenih slojeva. Stoga se standardizirani postupci grube obrade sada smatraju dijelom kontrole kvaliteta u proizvodnji vakuumskih premaza.
Ukratko, faza grube obrade upotrebom dvostepene pumpe DLT.2V80 i kombinacije Roots pumpe je više od jednostavnog koraka pred{3}}vakuma. To je pažljivo kontrolisan proces koji uključuje postepeno pumpanje, izolaciju ventila, odzračivanje suvog gasa i stabilizaciju pritiska. Praćenje ovih operativnih smjernica osigurava čiste uslove vakuuma, štiti kritične komponente pumpe i garantuje dosljedne performanse premaza tokom dugih proizvodnih ciklusa.